真空装置設計のための技術資料SI単位系 m・Pa・s 準拠

The Vacuum Technology Review

コンダクタンス計算と排気系設計の実務知識

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Support-material-Vacuum.pdf p27-34

真空コンダクタンス計算

SI式 / m, Pa, s

流れのモデル形状

寸法単位動粘性ではなく動的粘性 eta [Pa s]

ガス（QDB）温度 T [K]分子量 M [g/mol]LJ sigma [Å]LJ epsilon/k [K]

Chapman-Enskog eta-

層流計算のetaへ反映

形状図

補正係数図

寸法

圧力

補正係数

空欄は既定値または簡易推定

コンダクタンス

-m³/s

L/s: -
cm³/s: -
平均分子速度: -
使用係数: -

使用式

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