The Vacuum Technology Review

真空技術

コンダクタンス計算と排気系設計の実務知識

Vacuum Engineering

真空装置の設計を、計算で裏付ける。

真空技術の基礎理論からコンダクタンス計算、排気系設計の実務まで。 装置設計・シミュレーションに必要な知識と計算ツールを一つの紙面にまとめました。

解説記事

真空の基礎、流れの領域、コンダクタンスの理論から、ポンプ選定・リーク対策・ 実装置の排気系設計演習まで。全16回の連載で体系的に学べます。

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計算ツール

円管・環状管・矩形ダクトなど各種形状のコンダクタンスを、層流・分子流の 各モデルでSI式に基づいて計算。形状図と補正係数チャートを併載します。

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連載 全16回